大家都知道的是振動(dòng)是一種能量，它以振動(dòng)波傳遞，具有一定的頻率。我們的設(shè)備在運(yùn)行時(shí)也有一個(gè)頻率段，當(dāng)二者有重合的時(shí)候就是非常我們所說(shuō)的振動(dòng)與不穩(wěn)定。通常的振動(dòng)頻率一般都是高頻，可在50-100HZ，而細(xì)微隔振就是通過(guò)隔振裝置達(dá)到衰減、吸收客觀環(huán)境下的振動(dòng)能量，降低振動(dòng)頻率使之降到10HZ以下，非常好的隔振可以降低到5HZ。
 

　　隔振平臺(tái)被設(shè)計(jì)用來(lái)使超精密儀器設(shè)備可以隔離來(lái)自于建筑地面的振動(dòng)，可隔離的頻率低于1Hz。該系統(tǒng)可理想應(yīng)用于光學(xué)顯微鏡、掃描探針顯微鏡(SPM)及計(jì)量?jī)x器。具有主動(dòng)隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可以輕松選擇并設(shè)置三個(gè)增益中的一個(gè)以獲得適合當(dāng)前環(huán)境的性能。

　　隔振平臺(tái)主要還是包含了這五個(gè)組成部分：隔振臺(tái)面、減振單元、支撐腿、安全裝置、可調(diào)地腳。核心部件是減振單元和工作臺(tái)面。
 

　　隔振平臺(tái)的工作臺(tái)面按材質(zhì)大體分兩大類：大理石臺(tái)面和不銹鋼臺(tái)面。大理石臺(tái)面一般對(duì)工作面是00級(jí)要求，而不銹鋼臺(tái)面也要求有不超過(guò)0.02mm的水平誤差，這一切都是基于保證設(shè)備水平的技術(shù)要。
 

　　隔振平臺(tái)的減振單元主要使用氣浮減振器(空氣彈簧減振器)。具體又可以根據(jù)實(shí)際的使用情況下選擇精密氣浮減振器和常規(guī)的氣浮減振器。