產品簡介

SXRD-HR100是一款高分辨、多功能、 自動化為一體的X射線衍射儀，其測試范圍覆蓋了粉末、薄膜、納米材料等各類材料，廣泛應用于材料科學、能源、半導體、醫藥等領域。

產品特色

• 標配密封陶瓷X射線光管，功率大，亮度高，可持續工作，長期可靠性好

• 高運動精度測角儀，配合高精密光學元件，可提供高準直、高單色的X射線光束

• 二維光子計數探測器，具有很高的空間分辨率，可以大幅度提高測試效率

• 具有良好的兼容性和擴展性，支持模組快捷切換，以滿足不同應用場景的需求

• 智能光路系統：光路自動切換、模組自動識別

測試數據

SXRD-HR100測試數據：半高寬(FWHM)

測試條件

• B/B幾何光路
  

• 光管功率：40KV，40mA

• 索拉狹縫：3°

• 入射狹縫：0.6°

• 步進模式：step=0.003°(單晶硅)

• 連續模式：step=0.02°(多晶硅)

高精度X射線衍射儀SXRD-HR100技術特點

大功率光管（兩種靶材可選）

Cu靶：標配光源，波長=1.54?，適用于絕大部分X射線衍射實驗和應用場景

Mo靶：波長=0.71?，主要針對輕元素（如 Li、B）材料和超高分辨（如半導體應變層）的衍射實驗

模塊化與自動化設計

• 系統具有模組自動識別功能，可隨時了解系統配置狀態

• 光路自動調整，可有效降低實驗難度，提高實驗效率

• 不同光路之間可自動切換，大大提高實驗的自動化程度

超高分辨率

• 高精度測角儀，配合光學編碼器的全閉環控制，可實現的定位精度為 ±0.0001°

• X射線多層膜反射鏡（Goebel鏡），用于X射線光束修飾，可將光束準直性提高到0.03°以內，并有效去除特征光譜中的Kβ部分

• Ge220雙晶單色器，用于X射線光束修飾，可進一步提高光束單色性，是超高分辨率衍射的必*光學元件

• 可選配二維單光子計數探測器，具有大面積（有效面積 77.1x 38.4毫米）、高空間分辨率（最小像素75x75 微米）和高計數率

客戶價值

提升科研效率 （自動化 + 高通量，縮短研發周期）

自動化操作：自動校準功能、模塊識別功能、一鍵式流程，可以有效降低實驗難度，提高實驗效率，非常適合需要快速迭代的研發場景

大面積光子計數探測器：可同時采集多角度數據，結合 AI 輔助分析，快速完成物相識別或應力分布計算，加速實驗-反饋循環

節約運行成本（低維護設計 + 模塊化擴展 + 自動化設計，降低全生命周期成本）

低維護與高壽命：標配的陶瓷密封X射線管，使用壽命長，日常無需維護成本

模塊化設計與擴展性：用戶無需為不同需求購置多臺設備，通過升級附件，即可擴展新的功能，降低初期投資和后續升級成本

節約人力成本：自動化操作減少對專業操作員的依賴，新手經過短期培訓即可獨立完成復雜測試，有效降低人力資源投入

提升數據的質量與可靠性（高靈敏度 + 穩定性，確保數據可靠性，支持高精度工藝控制）

高精度與低噪聲：高精密光學元件，對X射線光束進行準直和單色，配合多能量閾值可選的光子計數探測器，可以有效降低噪聲信號，提高實驗的分辨率，確保弱信號樣品的精準檢測，提高實驗數據的可靠性

穩定性與重復性：高精度機械加工，配合光學編碼器形成的全閉環控制，保證了測角儀的運動精度、穩定性、長期可靠性，可以滿足工業質量控制（如半導體晶圓檢測）對可重復性的嚴苛要求

靈活性（模塊化設計，兼容性強，擴展性強，滿足跨領域需求，適應技術趨勢迭代）

易用性（智能化操作降低技術門檻，遠程協作提升資源利用率）