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反射/透射光譜共聚焦掃描成像系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)反射/透射光譜測(cè)試系統(tǒng),采用“所見即所得"的測(cè)量方式,即反射與透射測(cè)量方式均能在直接觀測(cè)樣品成像時(shí)看到測(cè)量光斑,成像與測(cè)量光路通過電機(jī)切換。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)可滿足紫外/可見/近紅外波段的測(cè)試需求,對(duì)于特殊波段可進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)及光路定制。
系統(tǒng)原理示意圖

*此圖為簡(jiǎn)化原理示意,不代表實(shí)際光路
典型數(shù)據(jù)圖

基本功能
白光反射譜及Mapping成像;
白光透射譜及Mapping成像;
電動(dòng)變偏振采譜;(可選)
適配低溫臺(tái)、電學(xué)樣品臺(tái)等;(可選)
共聚焦方式和科勒照明方式;(可選)
透射光譜無色散設(shè)計(jì);(可選)
入射及收集光路均可配置雙口電動(dòng)切換。(可選)
應(yīng)用場(chǎng)景
光學(xué)材料的能級(jí)及振動(dòng)強(qiáng)弱信息探測(cè)
半導(dǎo)體材料的帶隙探測(cè);
無機(jī)光學(xué)材料的吸收特性研究;
貴金屬納米材料的表面等離激元共振特性研究;
光學(xué)材料的基礎(chǔ)光譜表征。
反射/透射光譜共聚焦掃描成像系統(tǒng)典型參數(shù)配置
測(cè)試光源: 光纖耦合鹵素?zé)簦蛔杂煽臻g鹵素?zé)簦蛇x)
支持光譜范圍: 250 nm - 850 nm;400 nm - 1100 nm;900 nm - 1700 nm
空間分辨率: < 1 μm
電動(dòng)位移行程: 50 mm × 50 mm × 40 mm
掃描精度: < 1 μm,步進(jìn)最小 0.04 μm
偏振控制: 電動(dòng)
測(cè)量方式: 反射和透射
光路切換方式: 電動(dòng),軟件控制
物鏡組: 5X,10X,20X,50X,100X可見光物鏡;反射式物鏡,紅外長(zhǎng)焦物鏡等可選
照明光源: 高顯色LED面光源
光譜采集: 光纖光譜儀;光柵光譜儀(可選)
軟件功能:移動(dòng)視場(chǎng),切換物鏡,對(duì)焦,框選掃描區(qū)域均可用鼠標(biāo)直接在圖像顯示窗口操作;電動(dòng)功率調(diào)整;自動(dòng)光路模式切換;自動(dòng)化Mapping
自動(dòng)化偏振Mapping;實(shí)時(shí)處理與顯示數(shù)據(jù)。
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